월드카본·한국화학연구원, 반도체 제조공정용 활성탄 개발

데일리한국 2024-11-08 17:14:06
지난 5일 한국화학연구원 대회의실에서 한국화학연구원과 월드카본이 공동 개발한 ‘피치계 기반 코크스 활성탄’ 기술 이전식에서 (왼쪽부터) 월드카본 장병조 연구실장, 임지선 한국화학연구원 책임연구원, 월드카본 장정원 대표, 월드카본 경준용 본부장이 기념촬영을 하고 있는 모습. 사진=월드카본 제공 지난 5일 한국화학연구원 대회의실에서 한국화학연구원과 월드카본이 공동 개발한 ‘피치계 기반 코크스 활성탄’ 기술 이전식에서 (왼쪽부터) 월드카본 장병조 연구실장, 임지선 한국화학연구원 책임연구원, 월드카본 장정원 대표, 월드카본 경준용 본부장이 기념촬영을 하고 있는 모습. 사진=월드카본 제공

[데일리한국 최성수 기자]그동안 100% 해외에 의존해왔던 ‘반도체 제조공정용 활성탄(이하 반도체 활성탄)’이 개발됐다.

월드카본은 한국화학연구원과 최근 공동 연구개발을 통해 ‘코크스 기반 활성탄’을 ‘반도체 제조공정용으로 특화된 활성탄’으로 개발했다고 8일 밝혔다.

한국화화연구원은 모든 코크스 활성탄 원천 기술개발 연구 결과를 월드카본에 이전했다.

반도체 제조공정용 활성탄은 반도체 소재·부품·장비 중 핵심 소재지만 현재 100% 수입에 의존하고 있다.

이번에 월드카본과 한국화학연구원이 개발한 활성탄 원료인 코크스는 원유 정제 과정에서 버려지는 석유 ‘잔사유(=찌꺼기)’를 재활용한 것으로, 탄소 감량 효과까지 검증됐다.

또 코크스 기반 활성탄은 이차전지 음극제에 쓰이는 인조 흑연 소재로도 활용 가능해 향후 다양한 산업으로 확장이 가능할 것으로 기대되고 있다.

특히 기술 개발의 핵심인 활성탄의 비표면적이 1g당 3000㎡/g으로, 기존 활성탄(석탄계.야자계)의 1g당 1500㎡/g 대비 약 두 배에 이른다.

비표면적이 넓을수록 불순물 흡착 능력이 뛰어나며, 미세 기공률이 향상돼 불순물을 효과적으로 제거할 수 있다.

월드카본은 이번 개발 성과를 기반으로 베트남 호치민시에 현지 법인을 설립, 현지 활성탄 제조업체인 ‘GLOBAL CARB’와 OEM 생산을 위한 공동 업무협약(MOU)을 맺었다.

또한 활성탄 국내 생산을 위해 연간 3만6000톤 규모의 공장 설비를 갖춰 본격적으로 국내 생산에 돌입할 예정이다.

장정원 월드카본 대표는 “이번에 개발한 반도체 제조공정용 활성탄은 한국화학연구원과 함께 국내 주요 반도체 업체에서 실증단계를 성공적으로 마쳤다”고 강조했다.