신성이엔지가 오는 27일까지 서울 코엑스에서 열리는 2024 반도체 대전에 참여해 공기청정 기능과 제습 기능이 통합된 반도체 EDM 장비를 선뵌다고 23일 밝혔다. 사진=신성이엔지 제공

[데일리한국 안희민 기자] 신성이엔지가 공기청정 기능과 제습 기능이 통합된 국산 클린룸 장비를 공개했다.

신성이엔지는 오는 27일까지 서울 코엑스에서 열리는 반도체대전(SEDEX 2024)에 참가해 반도체향 EDM(Equipment Dehumidify Module)을 공개했다고 23일 밝혔다.

1977년 설립된 신성이엔지는 클린룸 핵심 장비인 'FFU(산업용 공기청정기)'를 국내 최초로 국산화하며, 반도체 산업 발전에 기여한 기업이다. 클린룸은 반도체·디스플레이·바이오 생산에 필수적인 고청정 공간을 뜻한다.

전시회서 소개되는 FFU(산업용 공기청정기)는 클린룸 핵심 장비다. 공기 제어 기술을 통해 초미세먼지까지 제어, 첨단산업 제조 환경을 개선하고 수율 향상에 기여한다. 현재 신성이엔지는 해당 분야에서 국내 점유율 60% 이상 차지하고 있다.

최근 개발한 반도체향 EDM(Equipment Dehumidify Module)도 공개한다. 이는 청정 기능과 제습 기능이 통합된 장비다. 고성능 로터를 이용해 5%RH(상대습도) 수준까지 조절 가능하며, 제습 기능이 작동하지 않아도 청정 기능은 유지된다. 초소형 사이즈로 제조 설비 내 설치가 용이한 것이 특징이다.

이외에도 △휘발성유기화합물(VOCs)을 95% 이상 제거하는 'V-master' △공기 중 이온성 가스 오염물질을 제거하는 'WSS' △눈에 보이지 않은 초미세먼지를 가시화하는 '미립자 가시화 시스템' △외부에서 유입되는 오염된 공기를 청정하게 공급해주는 '외조기(OAC)' △2차전지 드라이룸 등을 출품했다.

신성이엔지는 기술 고도화를 통해 반도체 뿐 아니라 이차전지 드라이룸, 데이터센터 공조 솔루션 영역으로 사업을 확장하고 있으며, 이번 전시회서 관련 기술을 선뵐 계획이다.